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高功率磁控溅射(HiPIMS) 制备ITO柔性膜

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磁控电源 HiPIMS-1500

所在电功率:40kW,输入智能激光的交流电电压範圍:200~1000V,输入智能激光最高值电压电流量:1500A,输入智能激光声音频率範圍:20~1000Hz,输入智能激光脉宽範圍:10~300uS,交流电电源的交流电电压範圍:100~750V,交流电电源电压电流量:40A,模块电源关联:光仟
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